湿处理设备硅片自动装卸系统

在太阳能电池片生产过程中, 硅片要经过一系列湿化学工艺, 包括表面制绒,去磷硅玻璃,等离子刻蚀. 硅片被放在多道滚轮传送带上经过湿处理设备被处理. baumann公司的湿处理设备硅片装卸系统将多道传送带的硅片上下料过程自动化.

系统采用一种特别研发的夹具技术
, 该技术确保硅片拿放的高可靠性,最小化硅片损坏或破片. 系统采用一个SCARA机器人, 能够以最高的精度实现高度灵活的上下料顺序.  在装卸料过程中还可以集成工艺与质量控制环节, 如增加称重系统来控制蚀刻率,硅片破损检测, TTV, 等等. baumann公司的湿处理设备硅片装卸系统是使用标准部件设计的,成熟的技术,模块化的设计在确保可靠性的同时保证了系统的灵活性和较短的供货时间.


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信息下载: baumann_Waferhandling_Nassbank.pdf