为了在太阳能电池片中生成电势, 需要将磷原子扩散到硅片的晶格中.这个过程在充满磷原子空气的扩散炉中完成. 由于扩散炉工艺温度很高, 硅片要由硅片篮装入到石英舟里, 再将石英舟放入扩散炉处理. baumann公司的扩散炉硅片装卸系统将这个上下料过程自动化,


并且采用一种特别研发的夹具技术, 该技术确保硅片拿放的高可靠性. 系统采用一个 6 轴机械手, 能够以最高的精度实现高度灵活的上下料顺序.  可选的电阻率测量系统可追踪工艺性能. 系统使用标准部件设计, 成熟的技术,模块化的设计在确保可靠性的同时保证了系统的灵活性和较短的供货时间