Waferhandling Plasma

Zur Steigerung des Wirkungsgrads wird die Solarzelle mit einer Antireflexionsschicht versehen. Das Aufbringen erfolgt hierbei mittels plasmagestützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD- Verfahren). Beim Batch-Prozess wird dazu ein Graphitboot mit Wafern beladen und in einen Ofen eingefahren. Das baumann Waferhandling Plasma automatisiert diesen Beladeprozess.

Speziell entwickelte Greiftechniken garantieren schonende Handhabung. Ein 6-Achs-Roboter ermöglicht auch komplexe Beladeabläufe bei höchster Präzision. Zur Kontrolle der Beschichtungsqualität und zur Prüfung auf Materialfehler ist ein Visionsystem integriert. Die Verwendung von Standardmodulen gewährleistet hohe Zuverlässigkeit, Flexibilität und kurze Lieferzeiten.

Info-Download: baumann_Waferhandling_Plasma.pdf

baumann_PV_PECVD

Weitere Informationen zum baumann Waferhandling Plasma erhalten Sie unter: Diese E-Mail-Adresse ist gegen Spambots geschützt! Du musst JavaScript aktivieren, damit Du sie sehen kannst.