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Waferhandling Oxidation Die Oxidation der Silikonoberfläche ist ein vielschichtiger Prozess in der Produktion von hocheffizienten Solarzellen. Aufgrund der hohen Temperatur während des Prozesses werden die Wafer vom Transportmagazin in ein SiC-Boot beladen und für den Oxidationsprozess in einen Ofen eingefahren. Das baumann Waferhandling Oxidation automatisiert diesen Beladeprozess. Speziell entwickelte Greifertechniken garantieren schonende Handhabung. Ein 6-Achs-Roboter ermöglicht auch komplexe Beladeabläufe bei höchster Präzision. Die Verwendung von Standardmodulen gewährleistet hohe Zuverlässigkeit, Flexibilität und kurze Lieferzeiten. Info-Download: baumann_Waferhandling_Oxidation.pdf |
